[发明专利]一种低功耗热光器件及其制作方法在审
| 申请号： | 202110224733.3 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113176674A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 杨妍;唐波;孙富君;欧祥鹏;李志华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 谷波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种低功耗热光器件及其制作方法，其中热光器件包括：基底，所述基底具有光波导；加热电极，位于所述光波导上方；热传导部件，所述热传导部件位于所述光波导和所述加热电极之间；其中，所述热传导部件具有导热性且不会引起光吸收，用于在所述加热电极加热过程中，将所述加热电极产生的热量传导至所述光波导，以增加所述光波导受热强度。本公开提供的低功耗热光器件，通过热传导部件将加热电极产生的热量更多地传导至光波导，可以提高加热电极的加热效率，降低热光器件结构的功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功耗 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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