[发明专利]一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法

摘要

本申请涉及激光成像的领域，尤其是涉及一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法，图像检测装置包括基底，基底为方形杆，基底的表面涂有感温变色材料，运用图像检测装置的检测方法，其技术方案要点是：初定位：将基底固定在吸盘上；再定位：将基底移动至出光镜头的下方；激光对焦：调节基底的位置使得激光投射在感温变色材料上；激光成像：激光在感温变色材料上成红色图像；图像获取：将基底移动至对位相机的下方，对位相机对红色图像进行抓拍；图像对比：对位相机将获取的红色图像传输到对比系统与原图进行对比，对比系统输出结果。本申请具有提高变色标记的稳定性，从而便于对激光直写光刻设备进行图像校准的效果。