[发明专利]一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法在审

专利信息
申请号: 202110223813.7 申请日: 2021-03-01
公开(公告)号: CN113009795A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 霍大云;张斌;刘麟跃;刘伟 申请(专利权)人: 锡凡半导体无锡有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;G01K11/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 图像 检测 装置 运用 方法
【说明书】:

本申请涉及激光成像的领域,尤其是涉及一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法,图像检测装置包括基底,基底为方形杆,基底的表面涂有感温变色材料,运用图像检测装置的检测方法,其技术方案要点是:初定位:将基底固定在吸盘上;再定位:将基底移动至出光镜头的下方;激光对焦:调节基底的位置使得激光投射在感温变色材料上;激光成像:激光在感温变色材料上成红色图像;图像获取:将基底移动至对位相机的下方,对位相机对红色图像进行抓拍;图像对比:对位相机将获取的红色图像传输到对比系统与原图进行对比,对比系统输出结果。本申请具有提高变色标记的稳定性,从而便于对激光直写光刻设备进行图像校准的效果。

技术领域

本申请涉及激光成像的领域,尤其是涉及一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法。

背景技术

LDI (laser direct imaging )激光直接成像技术,用于PCB工艺中的图形转移工序,与传统的底片接触曝光方法有所不同,激光直接成像直接用激光将Gerber数据图像在印制线路板上成像。Gerber文件是描述性的矢量文件,一般的文件里经常有成千上万条线条和焊盘等,数据容量极大。

激光直写光刻设备包括吸盘、出光镜头、对位相机以及控制吸盘移动的驱动机构,将印制线路板定位在吸盘上,出光镜头发射激光在印制线路板上成像,激光直写光刻设备上设有空间坐标系(X,Y,Z),然后驱动机构根据对位相机和出光镜头的坐标位置关系,驱动吸盘和印制线路板移动使得图像呈现在对位相机的下方,对位相机获取图形,完成图形的转移。

目前,公开号为CN111221224A的中国专利公开了一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法,该标定尺为长条状,固定在工件台一侧,随工件台同步运动,标定尺的表面涂覆有感光材料,通过曝光,可以在感光材料上形成曝光标记,曝光后,随着时间的消逝,标记逐渐变淡,最终消失,由此可以在标定尺上重复进行曝光,实现重复利用。标定尺组装完毕后,固定到工件台一侧。与曝光相关的组件位置关系,可以通过在标定尺上曝光标记,通过测量工件台的位置获得相关位置关系。

针对上述中的相关技术,发明人认为:感光材料容易受到外界杂散光的影响,造成曝光标记不稳定。

发明内容

为了提高变色标记的稳定性,从而便于对激光直写光刻设备进行图像校准,本申请提供一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法。

第一方面,本申请提供的一种图像检测装置采用如下的技术方案:

一种图像检测装置,包括基底,基底的表面涂覆有感温变色材料。

通过采用上述技术方案,感温变色材料在温度变化时发生颜色转变,相比感光材料,不会受到杂散光的干扰。

可选的,基底为方形杆。

通过采用上述技术方案,方形杆便于成像位于一条直线上的若干成像。

可选的,感温变色材料为电子转移型有机化合物,且是一类具有特殊化学结构的有机发色体系。

通过采用上述技术方案,电子转移型有机化合物在特定温度下因电子转移使该有机物的分子结构发生变化,变色较为精确。

可选的,感温变色材料的温度在10℃~30℃时为浅红色,感温变色材料的温度在30℃以上时为深红色,温度越高,颜色越深,温度再次降低至30℃以内,深红色逐渐褪去,变为浅红色。

通过采用上述技术方案,感温变色材料在温度升高至30℃以上时变为深红色,达到了对图像标记的效果。

可选的,感温变色材料的厚度为10μm~500μm。

通过采用上述技术方案,感温变色材料的厚度为10μm~500μm,一方面保证了感温变色材料的感温敏感度,一方面减小了感温变色材料受磨损后降低感温性能的可能性,提高了感温变色材料的使用寿命,还有一方面达到了便于图层印刷的效果。

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