[发明专利]张网方法及张网装置在审
| 申请号： | 202110217987.2 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113005401A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 付佳;王腾雨;赵晶晶 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 段月欣 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种张网方法及张网装置。本申请实施例第一方面中的张网方法，包括：提供通用蒸镀掩膜，通用蒸镀掩膜包括边缘和由边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部，边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段，蒸镀区段与蒸镀开口对应，遮挡区段与遮挡部对应；对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动。使得多个遮挡部沿张网方向的伸长量相同。保证通用蒸镀掩膜中的多个蒸镀开口的形变均一性，提高通用蒸镀掩膜的张网准确度，从而提高蒸镀精度，提高显示面板的显示质量以及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
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