[发明专利]张网方法及张网装置在审
| 申请号: | 202110217987.2 | 申请日: | 2021-02-26 |
| 公开(公告)号: | CN113005401A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
| 发明(设计)人: | 付佳;王腾雨;赵晶晶 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 段月欣 |
| 地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 方法 装置 | ||
1.一种张网方法,其特征在于,包括:
提供通用蒸镀掩膜,所述通用蒸镀掩膜包括边缘和由所述边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部,所述边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段,所述蒸镀区段与所述蒸镀开口对应,所述遮挡区段与所述遮挡部对应;
对所述边缘提供均值张网拉力使得所述通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网,所述均值张网拉力向所述边缘的所述蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力,以使所述蒸镀区段和所述遮挡区段平行等齐的沿所述张网方向移动。
2.根据权利要求1所述的张网方法,其特征在于,所述提供通用蒸镀掩膜的步骤中,
所述边缘围合形成矩形结构,在第一张网方向上具有相对的第一边缘,所述第一边缘对应多个沿第二张网方向延伸的第一遮挡部;在第二张网方向上具有相对的第二边缘,所述第二边缘对应多个沿第一张网方向延伸的第二遮挡部,所述第一张网方向与所述第二张网方向相互垂直。
3.根据权利要求2所述的张网方法,其特征在于,所述对所述边缘提供均值张网拉力使得所述通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网,所述均值张网拉力向所述边缘的所述蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力,以使所述蒸镀区段和所述遮挡区段平行等齐的沿所述张网方向移动的步骤,包括:
固定相对设置的两个所述第一边缘中的一者,对所述相对设置的两个所述第一边缘中的另一者提供所述第一均值张网拉力,使得所述通用蒸镀掩膜沿所述第二张网方向张网;或者,
对所述相对设置的两个所述第一边缘均提供所述第一均值张网拉力,使得所述通用蒸镀掩膜沿所述第二张网方向张网。
4.根据权利要求3所述的张网方法,其特征在于,所述对所述边缘提供均值张网拉力使得所述通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网,所述均值张网拉力向所述边缘的所述蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力,以使所述蒸镀区段和所述遮挡区段平行等齐的沿所述张网方向移动的步骤中:
采用第一拉伸机构提供所述第一均值张网拉力,所述第一拉伸机构具有设置于所述第一边缘的第一贴合部,在所述第二张网方向上,所述第一贴合部在所述通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖至少部分所述第一边缘,在所述第一边缘自身延伸方向上、所述第一贴合部在所述通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖所述第一边缘中各所述蒸镀区段以及各所述遮挡区段;
优选的,所述第一贴合部为整体式结构,或者所述第一贴合部由多个第一子贴合部构成。
5.根据权利要求4所述的的张网方法,其特征在于,所述对所述边缘提供均值张网拉力使得所述通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网,所述均值张网拉力向所述边缘的所述蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力,以使所述蒸镀区段和所述遮挡区段平行等齐的沿所述张网方向移动的步骤中:
所述第一贴合部采用夹持方式设置于所述第一边缘;或者,所述第一贴合部采用焊接方式设置于所述第一边缘;或者,所述第一贴合部采用磁力吸附的方式设置于所述第一边缘。
6.根据权利要求2所述的张网方法,其特征在于,所述对所述边缘提供均值张网拉力使得所述通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网,所述均值张网拉力向所述边缘的所述蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力,以使所述蒸镀区段和所述遮挡区段平行等齐的沿所述张网方向移动的步骤,包括:
固定相对设置的两个所述第二边缘中的一者,对所述相对设置的两个所述第二边缘中的另一者提供所述第二均值张网拉力,使得所述通用蒸镀掩膜沿所述第一张网方向张网;或者,
对所述相对设置的两个所述第二边缘均提供所述第二均值张网拉力,使得所述通用蒸镀掩膜沿所述第一张网方向张网。
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