[发明专利]用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构在审
| 申请号： | 202110217035.0 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112828868A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 | 申请（专利权）人： | 昀智科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J19/00;B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 胡大成 |
| 地址： | 102300 北京市门头沟区莲石*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，包括支撑结构、驱动结构、传动结构和旋转结构；支撑结构包括底板、基座和面板，基座为具有顶底开口的中空腔体结构，且内壁设置有隔板，将基座分隔为顶层基座和底层基座，面板和底板分别安装在基座上；驱动结构贯穿旋转结构并安装在基座上；传动结构安装在基座上，包括第一传动结构、第二传动结构和连接轴；连接轴转动连接在基座上；第一传动结构位于底层基座内，并分别与连接轴底端和驱动结构固接；第二传动结构位于顶层基座内，并分别与连接轴顶端和旋转结构固接。通过将传动机构设置在基座的顶层和底层，并与连接轴固接，本发明装置结构紧凑，占用空间小，有很好的控制精度及运动稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 搬运 机器人 旋转 控制 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昀智科技（北京）有限责任公司，未经昀智科技（北京）有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110217035.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
