[发明专利]用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构

权利要求书

1.一种用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，其特征在于，包括支撑结构(1)、驱动结构(2)、传动结构(3)和旋转结构(4)；

所述支撑结构(1)包括底板(11)、基座(12)和面板(13)，所述基座(12)为具有顶底开口的中空腔体结构，且内壁设置有隔板(121)，将基座(12)分隔为顶层基座(122)和底层基座(123)，所述面板(13)和底板(11)分别安装在基座(12)上，用于保护基座(12)内部结构；

所述驱动结构(2)贯穿旋转结构(4)并安装在基座(12)上；

所述传动结构(3)，安装在基座(12)上，包括第一传动结构(31)、第二传动结构(32)和连接轴(33)；所述连接轴(33)转动连接在基座(12)上；所述第一传动结构(31)位于底层基座(123)内，并分别与连接轴(33)底端和驱动结构(2)固接；所述第二传动结构(32)位于顶层基座(122)内，并分别与连接轴(33)顶端和旋转结构(4)固接。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，其特征在于，所述旋转结构(4)包括：

主固定轴(41)，所述主固定轴(41)底部安装在顶层基座(122)上；

主轴承(42)，所述主轴承(42)与主固定轴(41)固接；

转接法兰(43)，所述转接法兰(43)与主轴承(42)固接；和

外接法兰(44)，固接在转接法兰(43)顶部。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，其特征在于，所述第一传动结构(31)包括：

第一主动轮支撑架(321)，安装在底层基座(123)内；

第一主动轮(312)，与驱动结构(2)主轴固接，并与第一主动轮支撑架(321)转动连接；

第一从动轮(313)，与连接轴(33)底端固接；和

第一同步带(314)，与第一主动轮(312)和第一从动轮(313)带传动连接。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，其特征在于，所述第二传动结构(32)包括：

第二从动轮(321)，固接在连接轴(33)顶端；

第三从动轮(322)，固接在转接法兰(43)底部；和

第二同步带(323)，与第二从动轮(321)和第三从动轮(322)带传动连接。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，其特征在于，还包括锁紧结构(5)，所述锁紧结构(5)抵接在传动结构(3)上，包括：

第一锁紧结构(51)，抵接在第一同步带(314)上；和

第二锁紧结构(52)，抵接在第二同步带(323)上。

6.根据权利要求5所述的用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，其特征在于，所述第一锁紧结构(51)包括：

第一锁紧轮调节架(511)，数量为2，相对设置在第一同步带(314)两侧，并安装在底层基座(123)内；

第一锁紧轮(512)，数量为2，位于第一锁紧轮调节架(511)的相对内侧，安装在顶层基座(122)上，并抵接至第一同步带(314)两侧；和

第一螺钉(513)，设置在第一锁紧轮调节架(511)上，末端抵接在第一锁紧轮(512)上，通过调节第一螺钉(513)的长度使第一锁紧轮(512)抵接至第一同步带(314)并相对滑动。

7.根据权利要求5所述的用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，其特征在于，所述第二锁紧结构(52)包括：

第二锁紧轮调节架(521)，数量为2，相对设置在第二同步带(323)两侧，并安装在顶层基座(122)上；

第二锁紧轮(522)，数量为2，位于第二锁紧轮调节架(521)的相对内侧，安装在顶层基座(122)上，并抵接至第二同步带(323)两侧；和

第二螺钉(523)，设置在第二锁紧轮调节架(521)上，末端抵接在第二锁紧轮(522)上，通过调节第二螺钉(523)的长度使第二锁紧轮(522)抵接至第二同步带(323)并相对滑动。