[发明专利]用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构在审
| 申请号： | 202110217024.2 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112828867A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 | 申请（专利权）人： | 昀智科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 胡大成 |
| 地址： | 102300 北京市门头沟区莲石*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，包括骨架结构、双臂结构和驱动结构；双臂结构包括结构相同的两组运动结构，运动结构分别相对设置并安装在骨架结构两侧；驱动结构分别位于双臂结构两侧，驱动双臂结构在水平方向往复运动。通过采用带传动结构，把滑动连接块运动路径上的空隙遮蔽起来，减少了结构内部与外部环境的空气对流，确保结构内部的颗粒和粉尘不会逸散到外部空间中去，从而达到高等级超净环境中安装使用的要求；主动轮支架与主动轮转动连接，对主动轮起到辅助支撑的作用，提高主动轮转动时的稳定性；通过调整调节螺钉的伸出长度来调节从动轮与同步带的相对位置，进而来调节同步带的张力，因此提高运动时的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 搬运 机器人 双臂 水平 运动 结构 | ||
【主权项】：
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