[发明专利]用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构

权利要求书

1.一种用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，包括：

骨架结构(1)；

双臂结构(2)，包括结构相同的两组运动结构(21)，所述运动结构(21)分别相对设置并安装在骨架结构(1)两侧；

驱动结构(3)，分别位于双臂结构(2)内侧，驱动双臂结构(2)在水平方向往复运动。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述骨架结构(1)包括：

基座(11)；

顶板(12)，位于基座(11)顶部；和

侧方支架(13)，相对设置在基座(11)两侧。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述骨架结构(1)还包括两个结构相同的侧方面板(14)，每个侧方面板(14)分别与基座(11)和顶板(12)固接。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述运动结构(21)包括：

带传动结构(211)，安装在侧方支架(13)底部；

滑动结构(212)，安装在侧方支架(13)顶部；和

滑动连接块(213)，所述滑动连接块(213)分别连接带传动结构(211)和滑动结构(212)。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述滑动连接块(213)呈梯状，包括：

第一连接板(2131)；

第二连接板(2132)，垂直设置在第一连接板(2131)的一面；和

第三连接板(2133)，与第一连接板(2131)平行，并与第二连接板(2132)的另一面底部呈一体结构设置。

6.根据权利要求4所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述带传动结构(211)包括：

主动轮支架(2111)，安装在侧方支架(13)一端；

主动轮(2112)，所述主动轮(2112)与驱动结构(3)的主轴固接，且一端与主动轮支架(2111)转动连接；

从动轮安装架(2113)，安装在侧方支架(13)另一端；

从动轮(2114)，转动连接在从动轮安装架(2113)上；和

同步带(2115)，分别与主动轮(2112)和从动轮(2114)带传动连接，并固接在第三连接板(2133)底部。

7.根据权利要求4所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述滑动结构(212)包括：

直线导轨(2121)，固接在侧方支架(13)上；和

滑动块(2122)，一侧与直线导轨(2121)滑动连接，另一侧固接在第二连接板(2132)上。

8.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述双臂结构(2)还包括结构相同的两组密封结构(22)，所述密封结构(22)分别相对设置并固接在滑动连接块(213)上。

9.根据权利要求8所述的用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，其特征在于，所述密封结构(22)包括：

密封带轮支架(221)，位于侧方支架(13)端部；

密封带轮(222)，位于侧方支架(13)端部，两两一组，每个带轮分别安装在独自的密封带轮支架(221)上；和

密封带(223)，与每组密封带轮(222)带传动连接，并固接在第一连接板(2131)和第二连接板(2132)的连接处。