[发明专利]批量制备石墨烯薄膜的方法

摘要

本发明属于材料技术领域，具体涉及一种批量制备石墨烯薄膜的方法。本发明制备方法中，一方面通过利用容器的限域空间作用，将化学气相沉积反应过程中的石英渣、灰尘颗粒等各种杂质隔离在容器的外面，从而避免上述杂质对所得石墨烯薄膜造成杂质污染，可大大提高了所得单晶石墨烯薄膜的表面洁净度。另一方面通过准备多个衬底和多个容器，每个容器容置一个衬底的方式，可以在一次化学气相沉积反应批量获得多个石墨烯薄膜，提高了石墨烯薄膜的产能和制备效率，解决了现有石墨烯薄膜制备方法对其产业化生成的限制，不仅降低了生产成本，也节约了资源。