[发明专利]批量制备石墨烯薄膜的方法在审
| 申请号： | 202110216320.0 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112978720A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 邹定鑫;周志锋;赵悦;俞大鹏 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 郝文婷 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 批量 制备 石墨 薄膜 方法 | ||
1.一种批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供多个衬底、碳源和多个容器，每个所述容器上均设有至少一个通孔；
每一所述容器容置一所述衬底，经化学气相沉积反应，将所述碳源至少沉积在所述衬底表面，得到多个石墨烯薄膜。
2.根据权利要求1所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述多个容器分为至少一层容器组，每层所述容器组含至少一个所述容器。
3.根据权利要求1所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述容器包括容器本体及覆盖所述容器本体的顶盖，所述通孔设置在所述容器本体的侧壁。
4.根据权利要求3所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述容器的材质为石墨或金属。
5.根据权利要求1-4任一项所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述化学气相沉积反应是在保护性气体和氢气的混合气氛中进行，所述化学气相沉积反应的反应温度为800℃-1000℃，反应时间为10min-300min。
6.根据权利要求5所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述保护性气体的通入流量为100sccm-1000sccm；和/或
所述保护性气体选自氮气、氩气中的至少一种；和/或
所述氢气的通入流量为0.5sccm-100sccm。
7.根据权利要求1-4任一项所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述碳源选自气体碳源、固体碳源、液体碳源中的至少一种。
8.根据权利要求7所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述碳源的通入流量为0.5sccm-100sccm。
9.根据权利要求1-4任一项所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述衬底的材质为铜、镍或两者的合金。
10.根据权利要求1-4任一项所述批量制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述石墨烯薄膜的表面洁净度大于等于99％。
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