[发明专利]一种使用非接触式非球面轮廓仪测量离轴非球面的方法有效
| 申请号： | 202110214153.6 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN112985301B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 李昂;王永刚;孟晓辉;栗孟娟;王刚;王培培 | 申请（专利权）人： | 北京空间机电研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张晓飞 |
| 地址： | 100076 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种使用非接触式非球面轮廓仪测量离轴非球面的方法，包括如下几个步骤：1)确定待测面的理论轮廓定义；根据轮廓定义构造一组与该离轴非球面对等的三维坐标点集；2)使用步骤(1)中生成的点集，采用非线性最小二乘法拟合计算，找到一个最优化的逼近同轴非球面作为轮廓扫描仪的测量轨迹轮廓；3)将待测离轴镜放置到轮廓扫描仪的测量区域，使用校正量规将元件中心对准设备主轴；向轮廓扫描仪输入步骤2)中获取的测量轮廓以及相关测量设置，启动设备检测；当待测离轴镜面形精度优于60nm时，检测过程中通过力学仿真选择元件底面支撑方式；4)从检测设备测控软件中导出测量结果的轮廓数据，即离轴镜几何中心坐标系下，设备实测的样件轮廓点集；进行空间五维误差去除以及噪声点去除处理，最终获取高精度面形残差结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 接触 球面 轮廓仪 测量 离轴非 方法 | ||
【主权项】：
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