[发明专利]半导体存储器装置在审

专利信息
申请号: 202110194102.1 申请日: 2021-02-20
公开(公告)号: CN113497062A 公开(公告)日: 2021-10-12
发明(设计)人: 柳孝俊;孙荣晥;姜书求;全政勳;金森宏治;韩智勳 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 刘美华;刘灿强
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了一种半导体存储器装置。所述半导体存储器装置包括位于基底上的金属线,并且包括:最上面的金属线;半导体导线,位于最上面的金属线上;垂直结构,穿透半导体导线和金属线并且包括沟道膜,沟道膜包括上沟道膜、第一下沟道膜以及在半导体导线的底部与最上面的金属线的底部之间将上沟道膜和第一下沟道膜连接的上连接沟道膜;以及第一切割线,通过金属线和半导体导线,并且包括穿过半导体导线的第一上切割线和通过多条金属线的第一下切割线,第一上切割线的宽度比第一下切割线的侧壁的延伸线的宽度大。
搜索关键词: 半导体 存储器 装置
【主权项】:
暂无信息
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