[发明专利]半导体存储器装置在审
| 申请号: | 202110194102.1 | 申请日: | 2021-02-20 |
| 公开(公告)号: | CN113497062A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
| 发明(设计)人: | 柳孝俊;孙荣晥;姜书求;全政勳;金森宏治;韩智勳 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
| 主分类号: | H01L27/11582 | 分类号: | H01L27/11582 |
| 代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘美华;刘灿强 |
| 地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 公开了一种半导体存储器装置。所述半导体存储器装置包括位于基底上的金属线,并且包括:最上面的金属线;半导体导线,位于最上面的金属线上;垂直结构,穿透半导体导线和金属线并且包括沟道膜,沟道膜包括上沟道膜、第一下沟道膜以及在半导体导线的底部与最上面的金属线的底部之间将上沟道膜和第一下沟道膜连接的上连接沟道膜;以及第一切割线,通过金属线和半导体导线,并且包括穿过半导体导线的第一上切割线和通过多条金属线的第一下切割线,第一上切割线的宽度比第一下切割线的侧壁的延伸线的宽度大。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体 存储器 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社,未经三星电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110194102.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:状态推断装置
- 下一篇:布线基体以及电子装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





