[发明专利]一种SAW-BAW混合谐振器在审
| 申请号： | 202110184341.9 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112953436A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张巧珍;刘会灵;赵祥永;陈正林 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙) 31293 | 代理人： | 吴瑾瑜 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种SAW‑BAW混合谐振器，包括依次排列的第一电极层、第一压电薄膜层、第二压电薄膜层、第二电极层以及衬底层；第一电极层与第一压电薄膜层在衬底层上的正投影重合，第二压电薄膜层与第二电极层在衬底层上的正投影重合；第一电极层与第一压电薄膜层组成的整体周期性且等间隔的布置在第二压电薄膜层上；第二压电薄膜层的压电耦合常数比第一压电薄膜层的更低且其声阻抗比第一压电薄膜层的更高。本发明的SAW‑BAW混合谐振器，利用西沙瓦波模式，可以兼具高频、高K |
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| 搜索关键词： | 一种 saw baw 混合 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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