[发明专利]一种硅棒自动清洗设备

摘要

本发明属于硅棒清洗技术领域，公开了一种硅棒自动清洗设备。包括机床底座，所述机床底座上设有框架，框架顶部设有桁架，所述桁架包括X轴桁架和Z轴桁架；所述Z轴桁架底部设有取料机械手，所述框架上还设有三个隔断防护门；三个隔断防护门形成两个空间，其中与取料机械手相邻的空间内设有高压水雾清洗系统，另一个空间内设有热风风干系统；所述热风风干系统所在空间的外侧设有退料机构；所述取料机械手下方设有来料输送带；所述来料输送带相邻处设有顶升机构。该设备清洗快，效率高，表面质量好，大大提升了工作效率，降低工人劳动强度。