[发明专利]一种硅棒自动清洗设备

权利要求书

1.一种硅棒自动清洗设备，其特征是，包括机床底座(10)，所述机床底座(10)上设有框架，框架顶部设有桁架(1)，所述桁架(1)包括X轴桁架(16)和Z轴桁架(22)；所述Z轴桁架(22)底部设有取料机械手(2)，所述框架上还设有三个隔断防护门；三个隔断防护门形成两个空间，其中与取料机械手(2)相邻的空间内设有高压水雾清洗系统(5)，另一个空间内设有热风风干系统(6)；所述热风风干系统(6)所在空间的外侧设有退料机构(8)；所述取料机械手(2)下方设有来料输送带(3)；所述来料输送带(3)相邻处设有顶升机构(4)。

2.如权利要求1所述的一种硅棒自动清洗设备，其特征是，所述三个隔断防护门为：隔断防护门A、隔断防护门B、隔断防护门C；隔断防护门A与隔断防护门B之间形成的空间内设有高压水雾清洗系统(5)，隔断防护门B与隔断防护门C之间形成的空间内设有热风风干系统(6)；隔断防护门C设置在热风风干系统(6)和退料机构(8)之间。

3.如权利要求2所述的一种硅棒自动清洗设备，其特征是，所述高压水雾清洗系统(5)包括水箱(42)；所述水箱(42)内设有水泵(54)，所述水箱(42)上方两侧分别设有调节支架A(43)，所述水箱(42)上方顶部设有调节支架B(45)，所述调节支架A(43)与调节支架B(45)之间设有若干个分出水管(53)，所述每个分出水管(53)上设有若干个喷雾头(44)；所述水箱(42)上方还设有主出水管(46)；所述主出水管(46)与水泵(54)相连接，所述主出水管(46)和每个分出水管(53)分别连接。高压水雾清洗系统(5)设在所在空间机床的底部。

4.如权利要求3所述的一种硅棒自动清洗设备，其特征是，所述热风风干系统(6)包括热风机(47)，所述热风机(47)外周设有6个支架(48)，每两个支架(48)为一组，三组支架(48)上方分别一一对应连接有调节支架C(49)、调节支架D(51)、调节支架E(52)；所述调节支架C(49)与调节支架D(51)、所述调节支架D(51)与调节支架E(52)之间分别设有若干个分气管(55)，所述分气管(55)上设有若干个热风喷头(50)；所述热风机(47)上还设有压缩空气入口(59)和空气出口；所述空气出口分别与分气管(55)相连接。

5.如权利要求4所述的一种硅棒自动清洗设备，其特征是，所述X轴桁架(16)包括X轴滑板(57)、齿轮A(11)、减速器A(12)、伺服电机A(13)、滑动盒(14)、导向轴(15)，所述X轴桁架(16)的一侧安装有齿条A(20)，齿条A(20)与齿轮A(11)咬合连接，所述伺服电机A(13)前端连接有减速器A(12)，减速器A(12)与齿轮A(11)连接，所述齿轮A(11)、滑动盒(14)设置在X轴滑板(57)上，所述导向轴(15)和齿条A(11)设置在X轴桁架(16)上。

6.如权利要求5所述的一种硅棒自动清洗设备，其特征是，所述Z轴桁架(22)包括齿轮B(17)、减速器B(18)、伺服电机B(19)、直线导轨B(56)、齿条B(21)；所述Z轴桁架(22)通过直线导轨B(56)与Z轴滑板(58)相连接，伺服电机B(56)前端设有减速器B(18)，所述齿轮B(17)、减速器B(18)、伺服电机B(19)均安装在Z轴滑板(58)上，齿轮B(17)与齿条B(21)咬合连接，并且Z轴滑板(58)安装在X轴滑板(57)上。