[发明专利]晶圆存放盒的清洗烘干方法有效
| 申请号： | 202110179121.7 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112916502B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;吴清;杨洋 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B9/30;B08B9/36;B08B9/42;B08B13/00;F26B3/04;F26B15/04;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法，包括以下步骤：晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干，完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成，所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成，所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构，从而利用流水线的方式提高了清洗效率，并且保证了烘干效果，利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条，从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转，从而提高清洗效果，并且不会对圆晶存放盒发生损伤，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 存放 清洗 烘干 方法 | ||
【主权项】：
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