[发明专利]一种YCOB晶体生长用生长装置和生长方法在审
申请号: | 202110154587.1 | 申请日: | 2021-02-04 |
公开(公告)号: | CN112813493A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 王庆国;吴锋;徐军;唐慧丽;罗平;薛艳艳 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/22 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 蒋亮珠 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种YCOB晶体生长用生长装置和生长方法,生长装置包括:坩埚(6);晶体生长模具(7);籽晶杆(1);晶体生长模具(7)置于坩埚(6)内;籽晶杆(1)可上下移动地设置在生长模具(7)上方,籽晶杆(1)下部设有用于牵引晶体生长的籽晶(4),坩埚(6)外套设有使坩埚(6)感应加热的感应线圈(12)。生长方法包括以下步骤:(1)原料的预处理;(2)装料;(3)熔晶;(4)引晶;(5)放肩;(6)等径生长阶段;(7)降温退火。与现有技术相比,本发明采用导模法进行晶体生长,具有长晶固液界面小、结晶速度快、晶体质量高、可定型定向生长等优点,成为超大尺寸晶体的主流生长方式之一。 | ||
搜索关键词: | 一种 ycob 晶体生长 生长 装置 方法 | ||
【主权项】:
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