[发明专利]一种适用于HBC电池的硼扩散方法

摘要

本发明公开了一种适用于HBC电池的硼扩散方法，在推进步骤改成氮气氧气混合推进的方式并增加了推进的时间，可以有效的增加结深且降低表面浓度。而且增加了氮气推进的时间，使得BSG中的B浓度降低，BSG更加容易去除干净。本发明对于N型电池来说，具备优良的正表面掺杂能力，较低的死层和较好的光吸收能力；同时本发明采用水平扩散方式，同时具备较好的单面性，利用重力挤压方式，将硅片背靠背放置于水平槽内，硅片间受上表面硅片重力影响进行挤压，高温受热后形变量很小，有效防止了绕扩的发生，在扩散中也减少B向背面扩散，大幅降低背面绕扩。