[发明专利]一种适用于HBC电池的硼扩散方法

权利要求书

1.一种适用于HBC电池的硼扩散方法，其特征是，包括以下步骤：

(1)进舟：将硅片放置于舟内，进行进舟步骤，进舟时，炉管温度为700-750℃，同时保持2000sccm N2进行持续吹扫；采用水平扩散方式，利用重力挤压方式将硅片背靠背放置于水平槽内；

(2)升温与检漏：舟进入炉管后进行加热升温，目标温度800-850℃，升温同时抽真空，完成抽空后，关闭真空泵进行真空检漏，检漏要求＜5mbar/min，完成检漏后，打开真空泵，调节炉管压力，目标真空度为100-500mbar；

(3)预氧化：到达目标温度和目标真空度后，通入2000sccm-10000sccm氧气，进行预氧化，通入时间10-30min；

(4)抽空：完成氧化后，将炉管抽空，抽空时间3-10min，目标压力＜200mabr；

(5)通硼源沉积：通入BCl₃气体和O₂，气体体积比例为BCl₃∶O₂＝1∶1～1∶3，通入时间为5-20min；

(6)升温：完成通源沉积后进行炉管抽空，目标压力＜100mbar，完成抽空后进行加热升温，目标温度1000℃；

(7)推进：到达目标温度后，采用N₂，O₂交叉通入推进；每次N₂推进时间∶O₂推进时间＝1∶2～1∶3，每次推进，使用N₂流量为3SLM～10SLM，O₂流量为5SLM～20SLM，进行循环推进，推进次数在2-5次；

(8)降温出舟：降温，出舟，完成扩散过程。

2.根据权利要求1所述的一种适用于HBC电池的硼扩散方法，其特征是，步骤(2)中，升温速率为10℃/min。

3.根据权利要求1所述的一种适用于HBC电池的硼扩散方法，其特征是，步骤(7)中，到达目标温度1000℃后，通入氮气3000sccm，通入10min；通入氧气5000sccm，通入25min；通入氮气3000sccm，通入10min；通入氧气5000sccm，通入25min。