[发明专利]一种金属柱面光栅及其制造工艺

摘要

本申请提供一种金属柱面光栅及其制造工艺，包括铜质基体，基体外侧面设染黑层，染黑层的表面设置钛膜层，钛膜层的表面激光光刻有光栅线纹部，激光光束穿透钛膜层后在染黑层形成光栅线纹部的暗纹，相邻暗纹之间形成光栅线纹部的亮纹；光栅线纹部包括主光栅以及主光栅上下两侧的零位光栅，主光栅的暗纹与亮纹等宽设置，且相间地沿基体侧面周向均匀分布；位于主光栅上下两侧的零位光栅的相位相同，对应位置的暗纹及亮纹设置的图案相反。本申请的有益效果是：采用高硬度铜质材料作为基体材料，使得机加工时更方便，降低制造成本、提高加工效率，基体上光刻有零位光栅可提高光栅测量定位精度；光栅制造工艺具有技术方法先进、良好的环保效益等优势。