[发明专利]一种金属柱面光栅及其制造工艺

权利要求书

1.一种金属柱面光栅，其特征在于，包括铜质基体，所述基体外侧面设置染黑层，所述染黑层的表面设置钛膜层，所述钛膜层的表面激光光刻有光栅线纹部，激光光束穿透钛膜层后在染黑层形成光栅线纹部的暗纹，相邻暗纹之间形成光栅线纹部的亮纹；

所述光栅线纹部包括主光栅以及主光栅上下两侧的零位光栅，所述主光栅的暗纹与亮纹等宽设置，且相间地沿基体侧面周向均匀分布；

位于主主光栅上下两侧的零位主光栅的线纹相位相同，对应位置的暗纹及亮纹设置的图案相反。

2.根据权利要求1所述的金属柱面光栅，其特征在于，所述基体的中心设有内孔，所述内孔上设置三个周向均匀分布的锥形接触结构。

3.根据权利要求1所述的金属柱面光栅，其特征在于，所述零位光栅上的暗纹条数最少设置1条。

4.根据权利要求1所述的金属柱面光栅，其特征在于，所述钛膜层设置的颜色为金黄色、黄绿色或者浅蓝色。

5.一种如权利要求1-4中任意一项所述的金属柱面光栅的制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：

机加工制造基体；

对基体外侧面进行染黑防腐处理；

对基体进行油污处理；

对基体进行高温干燥净化；

对基体外侧面进行真空镀制钛膜；

在基体外侧面进行激光直刻光栅线纹部；

对基体进行表面净化处理；

对基体外侧面进行线纹精度检测；

对基体进行保护膜制备。