[发明专利]一种透明衬底上微米级样品吸收光谱的测试系统装置及测试方法有效

专利信息
申请号: 202110126489.7 申请日: 2021-01-29
公开(公告)号: CN112964655B 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 刘新风;眭新雨;姜传秀 申请(专利权)人: 国家纳米科学中心
主分类号: G01N21/31 分类号: G01N21/31
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 100190 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种透明衬底上微米级样品吸收光谱的测试系统装置及测试方法,包括:对透明衬底、待测样品和空气分别进行成像并采谱,得到三类测样的透射光强度,根据三类测样的透射光强度计算待测样品的吸收率和吸光度;成像过程包括:开启成像光源和探测光源,探测光源发出的探测光依次穿过透镜、小孔和缩束物镜照射至测样上形成光斑,成像光源发出的成像光照射至测样表面发生反射,反射光经成像物镜收集后送入感光元件对光斑进行成像,通过调整透镜和小孔间的距离,成像的光斑直径≤4μm;采谱过程包括:开启探测光源,探测光源发出的探测光依次穿过透镜、小孔和缩束物镜照射至测样表面发生透射,透射光经成像物镜送入光谱仪进行采谱。
搜索关键词: 一种 透明 衬底 微米 样品 吸收光谱 测试 系统 装置 方法
【主权项】:
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