[发明专利]石墨烯压阻因子检测方法在审
| 申请号： | 202110125025.4 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112816780A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 郑晓虎;谷洲之 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 吴宏宇 |
| 地址： | 223005 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯压阻因子检测方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、以二氧化硅/硅片作为石墨烯的承载基底，将石墨烯沉积在基底上并在石墨烯表面制作Ti/Au检测电极；同时将作为参比电极的应变片结构制作在基底表面；(2)、将带有检测电极与参比电极的硅片粘贴到矩形梁上端面中部，用万用表来检测石墨烯电阻变化及参比电极的电阻变化；(3)、将步骤(2)的整个装置放入箱体，箱体内注满氮气；(4)、在矩形梁下方中部施加载荷，使梁产生向上或向下的弯曲变形，根据万用表测量出石墨烯与参比电极的电阻变化；(5)将相关数据带入计算得到石墨烯压阻因子。利用本方法测量压阻因子，结果更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 烯压阻 因子 检测 方法 | ||
【主权项】：
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