[发明专利]石墨烯压阻因子检测方法

权利要求书

1.石墨烯压阻因子检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、以二氧化硅/硅片作为石墨烯的承载基底，将石墨烯沉积在基底上并在石墨烯表面制作Ti/Au检测电极；同时将作为参比电极的应变片结构制作在基底表面；

(2)、将带有检测电极与参比电极的二氧化硅硅片粘贴到矩形梁上端面中部，参比电极的方向为矩形梁的宽度方向，分别从检测电极和参比电极两端引出导线与对应的万用表相连，用万用表来检测石墨烯电阻变化及参比电极的电阻变化；

(3)、将步骤(2)的整个装置放入箱体，箱体内注满氮气，进行测量，防止测量过程中石墨烯氧化及受到空气中水分、二氧化碳等气体干扰；

(4)、在矩形梁下方中部施加载荷，使梁产生向上或向下的弯曲变形，根据万用表测量出石墨烯与应变片的电阻变化；

(5)将相关数据带入计算得到石墨烯压阻因子，计算公式如下：

其中:

Rg,Rs：石墨烯与参比电极电阻；

ΔRg,ΔRs石墨烯与参比电极电阻变化；

ε：梁表面应变；

GFg,GFs：石墨烯与参比电极的压阻因子，GFs＝2；

2.如权利要求1所述的石墨烯压阻因子检测方法，其特征在于，通过机械剥离法或化学气相沉积法将石墨烯制造在基底上，在石墨烯表面沉积Ti/Au金属电极形成检测电极。

3.如权利要求2所述的石墨烯压阻因子检测方法，其特征在于，检测电极采用光刻及微制造工艺在石墨烯表面沉积Ti/Au金属电极形成。

4.如权利要求3所述的石墨烯压阻因子检测方法，其特征在于，硅片表面二氧化硅的厚度为300纳米。

5.如权利要求1所述的石墨烯压阻因子检测方法，其特征在于，梁为简支梁，作为应变施加载体，梁采用厚度为2毫米左右的铝或铜金属板带，可在受压时产生弯曲形变。