[发明专利]一种声表滤波器结构及制造方法在审
| 申请号： | 202110106350.6 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112787624A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 徐建卫 | 申请（专利权）人： | 赫芯（浙江）微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 王奎宇;杨孟娟 |
| 地址： | 314214 浙江省嘉兴市平湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种声表滤波器结构及制造方法，该结构包括：衬底，其上设有导线和电极；金属线条区域，其部分覆盖于所述衬底的表面；绝缘层，其覆盖于所述金属线条区域的表面；金属层，其覆盖于所述导线和电极的表面。该制造方法包括：在衬底上形成金属线条区域；沉积绝缘层；沉积金属层。本申请避免了声表滤波器工艺过程中金属颗粒对金属线条区域的污染，降低了金属线条区域短路和尖端放点的可能性，提高了器件的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
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