[发明专利]一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法在审
| 申请号： | 202110104505.2 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112941469A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 郭丰铭;郭裕竹;郭光宇 | 申请（专利权）人： | 科汇纳米技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/58;B24B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法，包括以下步骤：第一步，材料与设备准备，首先将4刃立铣刀放入反应室内部提高温度使其进行表面热处理，第二步，用量计算与设备试机，根据作业区选材确定和多弧离子镀与溅射法结构固定对其进行涂料混合试验。本发明所述的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法，通过设置的的反应室为铣刀进行加热处理，保证了铣刀对喷涂材料的固定和吸收情况，通过设置的多弧离子镀使添加材料喷涂于铣刀表面，保证了涂层与基底间附着性，通过多弧离子镀和溅射法同时混合喷涂保证了冷却后的铣刀外表面附着的AlCrWSi纳米复合涂层结合完整，以便来改变刀具的耐磨性进而来提升刀具的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 混合式 沉积 技术 制备 多元 氮化物 方法 | ||
【主权项】：
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