[发明专利]一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法在审
申请号: | 202110104505.2 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN112941469A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 郭丰铭;郭裕竹;郭光宇 | 申请(专利权)人: | 科汇纳米技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/58;B24B1/00 |
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地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 混合式 沉积 技术 制备 多元 氮化物 方法 | ||
1.一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
第一步,材料与设备准备,首先将4刃立铣刀放入反应室内部提高温度使其进行表面热处理,在将加热后4刃立铣刀的转移到混合式涂沉积法之设备内部,同时将多弧离子镀与溅射法结构共同放入混合式涂沉积法之设备内部,并连接好相应电极;
第二步,用量计算与设备试机,根据作业区选材确定和多弧离子镀与溅射法结构固定对其进行涂料混合试验;
第三步,生产复合涂料,将电源系统开启,首先采用采用多弧离子镀沉积Cr中间过渡层,将Cr喷涂在4刃立铣刀上外表面,等待其成型;
第四步,喷涂外表面层,将4刃立铣刀冷却成型后,再次采用多弧离子镀和溅射法,保证共同镀制一层控AlCrWSi纳米复合涂层作为外保护层,并将其冷却成型;
第五步,打磨,将冷却成型后的4刃立铣刀从混合式涂沉积法之设备内部转移至打磨箱进行快速外表面打磨;
第六步,切削对比,将打磨后的4刃立铣刀与一般制造4刃立铣刀进行使用对比,收集数据,记录后进行进行调试直到完成对比数据收集。
2.根据权利要求1所述的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法,其特征在于:所述步骤一中的反应室内部温度对铣刀加热时间温度为850℃至1100℃,所需压强为50至500torr,时间为30至600秒,并加入氨气。
3.根据权利要求1所述的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法,其特征在于:所述步骤三中的添加成分为:增塑剂20~30重量份、硅酮粉1~5重量份、稳定剂5~10重量份、增韧剂5~10重量份、抗氧化剂2~5重量份、碳酸钙1~10重量。
4.根据权利要求1所述的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法,其特征在于:所述步骤三和步骤四内所述Cr与AlCrWSi纳米复合涂层喷涂比为1:5。
5.根据权利要求1所述的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法,其特征在于:所述步骤四中多弧离子镀和溅射法共同镀制AlCrWSi纳米复合涂层其内部Si含量将控制5~10at.%之间,涂层硬度可达到Hv 3800。
6.根据权利要求1所述的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法,其特征在于:所述步骤五打磨箱内部料浆粒度控制在1.0μm~1.3μm,再将料浆打入打磨机内,并按重量百分比加入硅酸盐纤维0.8%以及打磨剂,料浆粒度控制在0.75μm~0.85μm。
7.根据权利要求1所述的一种基于混合式沉积技术制备多元氮化物的制备方法,其特征在于:所述步骤六切削对比数据为调试转速/s为8500,切削速度/Vc为1600m/min,进给速度/F为1600mm/min,每次进给量/Fz为0.05mm/r,切深Ap/切宽/Ae为5mm/0.15mm,铣削方式为侧铣跟随周边,冷却方式使用为冷却液。
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