[发明专利]一种T型结构的微制造方法有效
申请号: | 202110100995.9 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN113044803B | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 苏笑宇;任仲靖;潘泉;冯乾;杨家男;侯晓磊 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81C1/00;H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 西安维赛恩专利代理事务所(普通合伙) 61257 | 代理人: | 李明全 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种T型结构的微制造方法,在衬底材料表面上依次旋涂第一光刻胶层和第二光刻胶层;对其曝光后溶解第一曝光部分;将待制备T型结构的足部材料淀积到第一曝光部分露出的衬底表面上;剥离第二光刻胶层上的足部材料层;在第一光刻胶层和曝光部分的足部材料层上旋涂第三光刻胶层;对第三光刻胶层进行曝光,并采用第二显影液溶解第三光刻胶层的第二曝光部分;将待制备T型结构的头部材料淀积到第三光刻胶层、第二曝光部分露出的足部材料层和第二曝光部分露出的第一光刻胶层上;剥离第三光刻胶层和其上的头部材料层,得到待制备T型结构;本发明可以根据需要调节头部和足部的材料和尺寸,扩充了T型结构的应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
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