[发明专利]一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法有效
| 申请号： | 202110061579.2 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112882184B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;丁晨良;朱大钊;魏震;杨臻垚;刘旭;徐良 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B17/02;G02B27/10;G02B27/14;G02B7/18;G02B27/58;G02B27/62 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310023 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法，该装置包括可调小孔、旋转反射镜、直角棱镜反射镜、纳米位移台、角度压电调节镜架、二色镜、分束镜、透镜、位置探测器和控制器等部件。本发明可以对两束不同波长的激光束进行合束，确保光斑中心严格对准，并且对出射后的合束光进行光束稳定，在长时间工作中保持两束光的中心一直稳定在重合状态，实现小型化、高精度、快速度的合束光稳定控制。利用本发明装置调整得到稳定的合束光，可以广泛用于超分辨显微成像和高精度激光直写光刻等系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 实时 中心 对准 稳定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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