[发明专利]一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法

权利要求书

1.一种双光束实时中心对准和稳定的装置，其特征在于，包括第一直角反射棱镜(3)、第二直角反射棱镜(5)、第一角度调节镜架(7)、二色镜(8)、滤光片(9)、第一分束镜(10)、第一凸透镜(11)、第一光电感应器件(12)、第二凸透镜(13)、第一可调反射镜(14)、第一凹透镜(15)、第二光电感应器件(16)、第二可调小孔(17)、第三直角反射棱镜(19)、第四直角反射棱镜(21)、第二角度调节镜架(23)、第二分束镜(24)、第三分束镜(25)、第三凸透镜(26)、第三光电感应器件(27)、第四凸透镜(28)、第二可调反射镜(29)、第二凹透镜(30)和第四光电感应器件(31)；

第一入射光束经过第一直角反射棱镜(3)反射后入射到第二直角反射棱镜(5)上，再向上反射到第一角度调节镜架(7)上，然后经过二色镜(8)分为第一反射光束与第一透射光束；

第二入射光束经过第三直角反射棱镜(19)反射后入射到第四直角反射棱镜(21)上，再向上反射到第二角度调节镜架(23)上，随后经过第二分束镜(24)分为第二反射光束与第二透射光束；第二反射光束再经过二色镜(8)分为第三反射光束与第三透射光束；

二色镜(8)出射的第一反射光束与第三透射光束合束后经过第一分束镜(10)分为第一合束光与第二合束光；第一合束光经过第一凸透镜(11)入射到第一光电感应器件(12)上，第二合束光依次经过第二凸透镜(13)、第一可调反射镜(14)、第一凹透镜(15)入射到第二光电感应器件(16)上；

第二分束镜(24)出射的第二透射光束经过第三分束镜(25)分为第三检测光和第四检测光；第三检测光经过第三凸透镜(26)入射到第三光电感应器件(27)上，第四检测光依次经过第四凸透镜(28)、第二可调反射镜(29)、第二凹透镜(30)入射到第四光电感应器件(31)上；

然后将滤光片(9)放置在二色镜(8)和第一分束镜(10)之间，此时第一光电感应器件(12)检测第一入射光束的光束位置信息，第二光电感应器件(16)检测第一入射光束的角度信息，通过调节第一直角反射棱镜(3)、第二直角反射棱镜(5)和第一角度调节镜架(7)，使入射到第一光电感应器件(12)和第二光电感应器件(16)的光束中心都位于探测面的中心；

随后利用电功装置移开滤光片(9)，此时第一光电感应器件(12)和第二光电感应器件(16)检测的是合束光的位置与角度信息，通过调节第三直角反射棱镜(19)、第四直角反射棱镜(21)和第二角度调节镜架(23)，使第一光电感应器件(12)和第二光电感应器件(16)所检测到合束光中心的位置与角度再度回到探测面的中心；

当滤光片(9)回到光路中时，第一光电感应器件(12)和第二光电感应器件(16)只检测到第一入射光束的位置与角度信息，通过控制器(32)控制第一纳米位移台(4)、第二纳米位移台(6)和第一角度调节镜架(7)，用于第一入射光束的位置与角度校正；第三光电感应器件(27)和第四光电感应器件(31)只检测到第二入射光束的位置与角度信息，通过控制器(32)控制第三纳米位移台(20)、第四纳米位移台(22)和第二角度调节镜架(23)，用于第二入射光束的位置与角度校正。

2.如权利要求1所述双光束实时中心对准和稳定的装置，其特征在于，第一角度调节镜架(7)与第一光电感应器件(12)相对于第一凸透镜(11)成物像关系；第二角度调节镜架(23)与第一光电感应器件(12)相对于第一凸透镜(11)也成物像关系；第二角度调节镜架(23)与第三光电感应器件(27)相对于第三凸透镜(26)成物像关系；所述第二凸透镜(13)和第一凹透镜(15)组成远摄型系统，两者等效焦面与第二光电感应器件(16)的探测面位于同一位置；所述第四凸透镜(28)和第二凹透镜(30)组成远摄型系统，两者等效焦面与第四光电感应器件(31)的探测面位于同一位置。