[发明专利]一种稳定性能优异的(Ta,Hf,Zr)C复合涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种稳定性能优异的(Ta,Hf,Zr)C复合涂层的制备方法，其依次包括以下步骤：（1）在氩气保护手套箱内，配制并盛装TaCl5、HfCl4和ZrCl4混合粉末；（2）将基体样品放在沉积炉内，排除空气，再升温；（3）双温区气化炉放入混合粉末，设定低、高温区的加热温度；（4）通入H2、CH4，以及完全气化后的混合气体，在常压条件下沉积；（5）沉积完成后，关闭H2、CH4，以及沉积炉和双温区气化炉，降温取出样品。该制备方法能够精确控制反应源比例，且能保证与基体材料结合紧密牢固、稳定性能优异，适用于石墨、碳‑碳复合材料等超高温防护。