[发明专利]一种稳定性能优异的(Ta,Hf,Zr)C复合涂层的制备方法

权利要求书

1.一种稳定性能优异的(Ta,Hf,Zr)C复合涂层的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：

（1）在氩气保护手套箱内，将TaCl₅、HfCl₄和ZrCl₄混合粉末，盛装入氧化铝坩埚内；其中TaCl₅、HfCl₄和ZrCl₄按质量百分比分别为55%、35%和10%配制；

（2）将基体样品放置在沉积炉支架上，并向沉积炉内通入流量为200ml/min的氩气30min，以排除炉内空气；再以5～20℃/min的升温速率加热沉积炉达到沉积温度1300℃；

（3）将盛有TaCl₅、HfCl₄和ZrCl₄混合粉末的坩埚放入双温区气化炉中的低温区的升降支架上，升高升降支架使坩埚口部与高温区连通，设定双温区气化炉中低温区的加热温度为320℃，高温区的加热温度为550℃，加热使混合粉末完全气化；

（4）向沉积炉内通入流量为500ml/min的H₂、流量为100ml/min的CH₄，并在双温区气化炉中高温区底部通入以流量为180ml/min的氩气作为运载气体，将完全气化后得到的TaCl₅、HfCl₄和ZrCl₄的混合气体通入沉积炉内，在常压条件下沉积时间为2h；

（5）涂层沉积完成后，关闭H₂、CH₄，并在氩气保护下关闭沉积炉和双温区气化炉加热电源，至炉温降低至200℃以下时取出样品。