[发明专利]一种电场调控的传感器制备方法在审
| 申请号: | 202110046848.8 | 申请日: | 2021-01-14 |
| 公开(公告)号: | CN113369108A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
| 发明(设计)人: | 王太宏;岳泉;肖松华;李志斌 | 申请(专利权)人: | 南方科技大学 |
| 主分类号: | B05D1/04 | 分类号: | B05D1/04 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种电场调控的传感器制备方法,涉及传感器制备技术领域。通过电场调控带电射流制备传感器敏感结构,包括射流的产生、聚焦和运动控制部分。(1)构建一级电场,流体喷射形成极细带电射流;(2)构建二级电场对带电射流进行聚焦,实现带电射流的精确沉积;(3)构建三级电场,控制带电射流运动沉积。该发明方法可精准控制传感器敏感结构,制备设备简单,操作容易,可实现传感器敏感结构小尺度、高精度快速制备。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 电场 调控 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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