[发明专利]一种电场调控的传感器制备方法在审

专利信息
申请号: 202110046848.8 申请日: 2021-01-14
公开(公告)号: CN113369108A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 王太宏;岳泉;肖松华;李志斌 申请(专利权)人: 南方科技大学
主分类号: B05D1/04 分类号: B05D1/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种电场调控的传感器制备方法,涉及传感器制备技术领域。通过电场调控带电射流制备传感器敏感结构,包括射流的产生、聚焦和运动控制部分。(1)构建一级电场,流体喷射形成极细带电射流;(2)构建二级电场对带电射流进行聚焦,实现带电射流的精确沉积;(3)构建三级电场,控制带电射流运动沉积。该发明方法可精准控制传感器敏感结构,制备设备简单,操作容易,可实现传感器敏感结构小尺度、高精度快速制备。
搜索关键词: 一种 电场 调控 传感器 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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