[发明专利]一种大面积可变半径曲面薄膜基片架有效
| 申请号： | 202110043414.2 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112877668B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 胡聪芳;平豪壮;黄乐;祝海生;彭涛;刘干 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大面积可变半径曲面薄膜基片架，涉及真空镀膜设备技术领域，所述大面积可变半径曲面薄膜基片架包括传动机构和基片架本体，传动机构采用少齿差行星齿轮传动将转动和平动传递给底端转盘，底端转盘安装在内齿圈上，基片架半径调节轴上端和下端分别安装在顶端转盘滑道内和底端转盘凹槽中使基片架半径调节轴沿径向方向移动，基片由安装在基片架半径调节轴上的夹具进行固定。本发明通过少齿差行星齿轮传动机构实现基片的转动和平动，使得溅射更加均匀，同时基片架半径调节轴在径向方向的位置可以任意调整来满足不同曲率半径基片的需求，减少生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 可变 半径 曲面 薄膜 基片架 | ||
【主权项】：
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