[发明专利]一种大面积可变半径曲面薄膜基片架

权利要求书

1.一种大面积可变半径曲面薄膜基片架，该基片架内齿圈(102)与底架(101)相连固定于真空镀膜室中，电机(103)安装在支架(105)下方带动曲轴(104)转动，其特征在于：包括少齿差行星齿轮传动机构(1)和基片架本体(2)，少齿差行星齿轮传动机构(1)由曲轴(104)带动行星轮(108)转动和平动，曲轴(104)通过推力球轴承(106)安装在支架(105)上，内齿圈(102)固定，行星架输出，行星架由销轴(110)和底端转盘(111)组成，销轴(110)一端与行星轮(108)上的销孔(109)配合，另一端连接底端转盘(111)将转动和平动传递给底端转盘(111)；底端转盘(111)下方连接有4根支撑柱(113)，支撑柱(113)下端安装有滚珠(112)，滚珠(112)作用在内齿圈(102)上对底端转盘(111)起支撑和辅助转动与平动的作用，底端转盘(111)上方沿周向均布有8个铣削的凹槽(114)，凹槽(114)两侧分布有螺栓孔(115)，底端转盘(111)上方中心处开设有放置槽(119)；基片架本体(2)由底端转盘(111)、顶端转盘(209)、基片架半径调节轴(207)和旋转轴(215)组成，底端转盘(111)为少齿差行星齿轮传动机构(1)与基片架本体(2)连接装置，基片架半径调节轴(207)安装在底端转盘(111)与顶端转盘(209)之间，基片架半径调节轴(207)下端通过销轴(206)与滚轮(205)连接，滚轮(205)放置在底端转盘(111)的凹槽(114)内，基片架半径调节轴(207)上端放置在顶端转盘(209)的滑道(210)内，使得基片架半径调节轴(207)可以沿径向方向移动，通过移动每根基片架半径调节轴(207)在径向方向上的位置可以调节基片架本体(2)的曲率半径，当基片架半径调节轴(207)达到预定位置后，基片架半径调节轴(207)下端通过夹板(201)固定于底端转盘(111)，基片架半径调节轴(207)上端通过销轴(208)固定于顶端转盘(209)；旋转轴(215)下端通过深沟球轴承(116)安装在放置槽(119)内，放置槽(119)上方通过螺栓(118)安装有下轴端挡板(117)，旋转轴(215)上端与顶端转盘(209)通过深沟球轴承(216)连接，顶端转盘(209)下方通过螺栓(218)安装有上轴端挡板(217)，上轴端挡板(217)下方安装有支撑夹具(219)，支撑夹具(219)通过螺栓(220)固定在旋转轴(215)上对上轴端挡板(217)进行支撑；基片安装依靠夹具进行固定，夹具分为基片下夹具(203)和基片上夹具(212)，基片下夹具(203)通过螺栓(204)固定在夹板(201)上，基片上夹具(212)通过螺栓(214)固定在基片架半径调节轴(207)上端，夹具与基片架半径调节轴(207)的间距等于曲面基片的厚度。

2.根据权利要求1所述的一种大面积可变半径曲面薄膜基片架，其特征在于：底端转盘(111)上的螺栓孔(115)和顶端转盘(209)上的销孔(211)用来调节基片架本体(2)的固定位置，螺栓孔(2041)与销孔(211)位置相对应，可以通过调整螺栓孔(2041)与销孔(211)的初始位置和分布间距来实现基片架半径调节轴(207)在径向方向任意位置的固定。