[发明专利]一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统在审
| 申请号： | 202110034276.1 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112858292A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;郭芳;王福杰;任斌;姜鸣;胡耀华;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统，包括：检测软件、图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器、CCD摄像机、信号采集适配器、任意波形发生器。所述检测软件与所述图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器相连接，所述图像分析与测量模块与所述检测软件互相连接，所述GPLB仪器与所述检测软件互相连接。本发明是一个典型的光、机、电、算集成的MEMS检测系统,已应用于MEMS微结构几何尺寸和动态特性等的测量。因采用了亚像元定位技术,系统具有较高的测量精度。应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性,测量速度快,检测简便,有较好的工程应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 视觉 检测 系统 | ||
【主权项】：
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