[发明专利]一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统

权利要求书

1.一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，包括：检测软件、图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器、CCD摄像机、信号采集适配器、任意波形发生器。所述检测软件与所述图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器相连接，所述图像分析与测量模块与所述检测软件互相连接，所述GPIB仪器与所述检测软件互相连接。所述CCD摄像机与所述图像采集模块相连接，所述信号采集适配器与数据采集与处理模块相连接，所述任意波形发生器与所述GPIB仪器相连接。

2.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述检测软件对检测的环境、激励、被测器件的供电进行控制,通过GPIB总线完成相关仪器的控制,实现测控的集成化和自动化。

3.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述检测软件通过信号采集适配器完成对不同MEMS器件各种被测信号的调理,使其满足信号采集的要求。

4.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述信号分析处理模块能够完成整体的曲线的拟合、误差的理论分析、性能的分析等。

5.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述图像分析与测量模块可以完成输送到所述检测软件内大量图像的分析与测量。

6.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述GPIB仪器可以将若干台装置连接到一起，使这些装置能够组成一个自动测试的系统。

7.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述信号采集适配器能更简便的连接具备共用端子口的携带式电子设备和外部设备。

8.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述任意波形发生器可见信号源在电子实验和测试处理中，并不测量任何参数而是根据使用者的要求，仿真各种测试信号，提供给被测电路，以达到测试的需要。

9.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述图像采集模块可以精准的采集到从所述CCD摄像机传输过来的图像。