[发明专利]基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器有效
| 申请号： | 202110034162.7 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112881339B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 田赫;刘星 | 申请（专利权）人： | 东北林业大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/01 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 23101 | 代理人： | 吴振刚 |
| 地址： | 150040 黑龙江省哈尔*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器，包括基底层、金属层、直波导、金属挡板、第一谐振腔和第二谐振腔，所述的第一谐振腔和第二谐振腔中均填充待测溶液，所述的直波导中填充空气。当入射光波长是第一谐振腔的共振波长时，激发表面等离子激元，表面等离子激元由直波导耦合到第一谐振腔，然后耦合进入第二谐振腔，再耦合进入第一谐振腔，再耦合进入直波导并输出，第一和第二谐振腔为产生Fano共振提供窄带的离散态，直波导结合金属挡板为产生Fano共振提供宽带的连续态，离散态与连续态的干涉产生Fano共振。本发明结构简单、响应快，减小了器件的体积，实现小型化、高集成度的微纳光学传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 fano 共振 侧边 耦合 波导 谐振腔 溶液 浓度 传感器 | ||
【主权项】：
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