[发明专利]一种双天线增强线形微波等离子体源

摘要

本发明公开一种双天线增强线形微波等离子体源，包括屏蔽罩，载板，微波电源和与微波电源相连通的T型功率分配器；屏蔽罩为梯形结构，且屏蔽罩不设底板；载板设置于屏蔽罩正下方；T型功率分配器另两端分别与一微波天线连通，且两微波天线位于同侧；T型功率分配器与微波天线设置于屏蔽罩内腔中部；屏蔽罩上还设置有磁铁组件和进气管组。本发明在现有线形微波等离子体源的基础上通过引进双天线结构，以及相应的对进气管路、磁场结构进行改进，有效的增大线形微波等离子体源产生等离子体的横向面积，从而最终达到减少微波电源的数量的目的。