[发明专利]一种双天线增强线形微波等离子体源

权利要求书

1.一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于，包括：屏蔽罩(3)，载板(10)，微波电源和与微波电源相连通的T型功率分配器(7)；所述屏蔽罩(3)为梯形结构，且所述屏蔽罩(3)不设底板；所述载板(10)设置于所述屏蔽罩(3)正下方；所述T型功率分配器(7)另两端分别与一微波天线(8)连通，且两所述微波天线(8)位于同侧；所述T型功率分配器(7)与微波天线(8)设置于所述屏蔽罩(3)内腔中部；

所述屏蔽罩(3)上还设置有磁铁组件和进气管组。

2.根据权利要求1所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述T型功率分配器(7)与微波天线(8)均为实心铜棒，半径为3mm-5mm。

3.根据权利要求2所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述微波天线(8)由若干段铜棒连接成型，且任意两段铜棒长度不同。

4.根据权利要求1所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：还设置有玻璃管(6)，且所述玻璃管(6)为中空结构；每一所述微波天线(8)均置于一所述玻璃管(6)的中轴线上，且与所述玻璃管(6)互不接触。

5.根据权利要求1所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述磁铁组件包括一顶部磁铁(1)和两侧部磁铁(4)；所述顶部磁铁(1)固定设置于所述屏蔽罩(3)顶面中部，且与所述T型功率分配器(7)位置对应；两所述侧部磁铁(4)关于所述顶部磁铁(1)对称设置，且分别固定设置于所述屏蔽罩(3)两侧壁；所述顶部磁铁(1)和侧部磁铁(4)均与所述屏蔽罩(3)等长。

6.根据权利要求1所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述进气管组包括两顶部进气管(2)和两底部进气管(5)；所述顶部进气管(2)固定设置于所述屏蔽罩(3)内腔顶面，且关于所述屏蔽罩(3)顶面中轴线对称设置；所述屏蔽罩(3)内腔两侧壁底部还设置有进气挡板(11)；两所述底部进气管(5)分别置于两所述进气挡板(11)下方；

所述顶部进气管(2)和底部进气管(5)均与所述微波天线(8)平行设置；且所述顶部进气管(2)设置于所述微波天线(8)上方，所述底部进气管(5)设置于所述微波天线(8)下方。

7.根据权利要求6所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述顶部进气管(2)和底部进气管(5)上等间距开设有若干个通孔，用于流通气源。

8.根据权利要求7所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述气源包括但不限定为惰性气体，氧化性气体，还原性气体，烃类气体，经过气化的液体或混合气体。

9.根据权利要求1所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述磁铁组件为合金永磁材料或者铁氧体永磁材料。

10.根据权利要求1所述的一种双天线增强线形微波等离子体源，其特征在于：所述载板(10)底部还设置有加热板(9)。