[发明专利]MEMS微镜、迈克尔逊干涉系统及光学系统有效
| 申请号： | 202110030650.0 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN112859325B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 薛原;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;冯丽欣 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市无锡新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS微镜、迈克尔逊干涉系统及光学系统，该MEMS微镜包括：衬底以及镜面结构，镜面位于所述衬底的一侧，且其第一表面与衬底的第一表面之间形成空隙，其中，光源发出的入射光线照射在衬底的第二表面上，第一部分入射光线经由衬底的第二表面反射形成第一反射光，第二部分入射光线经由镜面结构的第一表面反射形成第二反射光，第一反射光和第二反射光耦合形成第一干涉光。该干涉系统基于MEMS芯片表面反射与其衬底表面反射的特性，利用MEMS微镜中不运动衬底反射的光线与运动的镜面结构反射的光线耦合后形成干涉光路，达到迈克尔逊系统的干涉要求，又减少了定镜的设置，有效提高干涉系统光路组装效率的同时，大幅度降低了光学结构的成本。 | ||
| 搜索关键词： | mems 微镜 迈克 干涉 系统 光学系统 | ||
【主权项】：
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