[发明专利]MEMS微镜、迈克尔逊干涉系统及光学系统

权利要求书

1.一种MEMS微镜，其中，包括：

衬底；以及

镜面结构，位于所述衬底的第一侧且与所述衬底连接，所述镜面结构的第一表面与所述衬底的第一表面相对且二者之间形成空隙，

其中，所述衬底的第二表面为从边缘到中心朝向所述镜面结构倾斜的曲面或平面，所述衬底上形成有贯穿所述衬底两个表面的通孔，

光源发出的入射光线照射在所述衬底的第二表面上，第一部分入射光线经由所述衬底的第二表面反射汇聚形成第一反射光，第二部分入射光线经由所述通孔照射在所述镜面结构的第一表面上，在所述镜面结构的第一表面反射形成第二反射光，所述第一反射光和所述第二反射光耦合形成第一干涉光。

2.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其中，所述衬底的第一表面从边缘到中心朝向所述镜面结构倾斜，将到达所述镜面结构的部分光线反射至外部。

3.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其中，所述入射光线的光斑直径大于所述通孔的孔径。

4.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其中，所述通孔为多个，且所述通孔的孔径总面积占所述衬底表面的20%-80%。

5.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其中，所述第二部分入射光线透射过所述衬底到达所述镜面结构的第一表面。

6.一种迈克尔逊干涉系统，其中，包括：

第一光源；

第一分光棱镜，位于所述衬底的第二侧，所述第一光源发出的光线经由所述第一分光棱镜形成从所述衬底的第二侧照射到所述衬底的第二表面上的入射光线；

根据权利要求1-5中任一项所述的MEMS微镜，其中，所述MEMS微镜用于接收所述入射光线，并将其反射形成第一反射光和第二反射光，所述第一反射光和所述第二反射光经由所述第一分光棱镜耦合形成第一干涉光；以及

光探测器，用于接收所述第一干涉光的干涉信号。

7.根据权利要求6所述的迈克尔逊干涉系统，其中，所述第一反射光和所述第二反射光在所述MEMS微镜移动过程中的某一时刻的光程差为零。

8.一种光学系统，其中，包括：

根据权利要求6所述的迈克尔逊干涉系统；

第二光源；

第二分光棱镜，位于所述衬底的第一侧，用于对所述第二光源发出的光线进行分光，形成相互垂直的第一路光线和第二路光线；以及

反射面，用于接收并反射所述第一路光线，形成第三反射光，

其中，所述第二路光线从所述衬底的第一侧照射在所述镜面结构的第二表面上，经由所述镜面结构的第二表面发射形成第四反射光，所述第三反射光和所述第四反射光经由所述第二分光棱镜耦合形成第二干涉光。