[发明专利]一种直拉单晶硅生产用的引晶装置及引晶方法在审
| 申请号： | 202110026220.1 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112831831A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 詹玉峰;陈跃华;方勇华 | 申请（专利权）人： | 浙江旭盛电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 虞乘乘 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅生产加工设备技术领域，具体地说，涉及一种直拉单晶硅生产用的引晶装置及引晶方法，包括引晶箱，引晶箱上安装有下料漏斗，引晶箱内底部安装有加热座，加热座的顶部安装有坩埚，下料漏斗的出料口正对坩埚的进口处，引晶机构包括两个对称嵌设于引晶箱内壁上的升降气缸，每个升降气缸的活塞杆顶部安装有固定杆，两个固定杆之间安装有单晶硅夹头，单晶硅夹头的底部安装有单晶硅。本发明通过引晶机构能够方便将单晶硅向上缓慢提拉，使得单晶硅带动多晶硅原料向上拉伸，保证引晶操作的稳定进行，生产效率高，通过引晶方法能够方便引晶的顺利进行，升降气缸保证晶体向上慢慢拉直且避免产生断裂等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生产 装置 方法 | ||
【主权项】：
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