[发明专利]具有三维铁电电容器的铁电随机存取存储器在审
| 申请号： | 202110022469.5 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN113054022A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 杨柏峰;杨世海;贾汉中;徐志安 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L27/11585;H01L27/1159;H01L27/11597;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 陈蒙 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有三维铁电电容器的铁电随机存取存储器。一种半导体器件包括：衬底；鳍，在衬底之上突出；栅极结构，位于鳍之上；底部电极，位于栅极结构之上并与栅极结构电耦合；铁电层，围绕底部电极；以及顶部电极，围绕铁电层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 三维 电容器 随机存取存储器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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