[发明专利]一种菲涅尔波带片衍射效率的分区计算方法在审
| 申请号： | 202110021043.8 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN114755821A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 高雅增;卢维尔;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种菲涅尔波带片衍射效率的分区计算方法，基于菲涅尔波带片的应用需求确定菲涅尔波带片的结构；将菲涅尔波带片的环形光栅近似为二维线性光栅，并以一对相邻环带的总宽度作为近似线性光栅的周期；计算不同周期的二维线性光栅的衍射效率，并根据不同环带宽度的菲涅尔波带片每一环的衍射效率绘制衍射效率与环带宽度之间的关系曲线；根据不同环带宽度衍射效率的波动程度将菲涅尔波带片分成若干区域；计算各区域衍射效率和；根据各区域衍射效率和，计算菲涅尔波带片整个结构的全局衍射效率。解决了现有技术中的对于计算菲涅尔波带片衍射效率时，尤其对于环数较多、环带宽度变化明显的器件时，存在较大的误差和计算量的的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 菲涅尔 波带片 衍射 效率 分区 计算方法 | ||
【主权项】：
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