[发明专利]一种菲涅尔波带片衍射效率的分区计算方法

权利要求书

1.一种菲涅尔波带片衍射效率的分区计算方法，其特征在于，所述方法包括：

基于菲涅尔波带片的应用需求确定所述菲涅尔波带片的结构；

将所述菲涅尔波带片的环形光栅近似为二维线性光栅，并以一对相邻环带的总宽度作为所述近似线性光栅的周期；

计算不同周期的所述二维线性光栅的衍射效率，并根据不同环带宽度的菲涅尔波带片每一环的衍射效率绘制衍射效率与环带宽度之间的关系曲线；

根据不同环带宽度衍射效率的波动程度将所述菲涅尔波带片分成若干区域；

计算各区域衍射效率和；

根据所述各区域衍射效率和，计算所述菲涅尔波带片整个结构的全局衍射效率。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于菲涅尔波带片的应用需求确定所述菲涅尔波带片的结构，包括：

根据所述菲涅尔波带片的应用需求，确定所需的分辨率、焦距；

取某一光源能量为主应用光源，通过耦合波理论结合所述所需的分辨率、焦距计算，获得菲涅尔波带片的厚度、环带宽度和材料；

根据所述菲涅尔波带片的厚度、环带宽度和材料，确定菲涅尔波带片的最佳厚度、环带宽度和最佳材料。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述应用光源能量为0.1-20keV。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述菲涅尔波带片的厚度为衍射效率最大时对应的厚度值。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述环带厚度满足其中，n为环数、λ为波长、f为菲涅尔波带片的焦距，且，所述环数n、波长λ为所述光源能量唯一确定的。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据不同环带宽度衍射效率的波动程度将所述菲涅尔波带片分成若干区域，包括：

所述区域的衍射效率波动不超过1％，且，平均波动值不超过千分之一，其中，所述平均波动值通过公式：平均波动值＝(波动值*区域带数)/总区数，计算获得。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算各区域衍射效率和，包括：

获得环数预设标准；

根据所述环数预设标准，获得各区域环数中预设环数的环带衍射效率；

将所述各区域预设环数的坏带衍射效率作为区域衍射效率均值；

获得区域环带数；

根据所述区域衍射效率均值、所述区域环带数，计算获得区域衍射效率和。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据所述环数预设标准，获得各区域环数中预设环数的环带衍射效率，包括：

获得区域环带宽度；

根据所述区域环带宽度，确定衍射效率计算方法；

根据所述衍射效率计算方法，计算获得所述区域环数中预设环数的环带衍射效率。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述根据所述区域环带宽度，确定衍射效率计算方法，包括：

当所述区域环带宽度为0-25nm时，所述衍射效率计算方法为耦合波理论计算方法；

当所述区域环带宽度为25-100nm时，所述衍射效率计算方法为复振幅叠加法。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述各区域衍射效率和，计算所述菲涅尔波带片整个结构的全局衍射效率，包括：

以环带数为权重，根据所述各区域衍射效率和，计算不同厚度的整个结构的全局衍射效率。