[发明专利]高精度金属薄膜直流电导率测试方法在审
| 申请号： | 202110020905.5 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN114755247A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 王志勇;马伟皓;杨思源;王世斌;李林安 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N23/02 | 分类号： | G01N23/02;G01N22/00;G01R27/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300354 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种高精度金属薄膜直流电导率测试方法，包括：将金属膜基材料置于预先设定的测试环境中；沿所述金属膜基材料的厚度方向朝其表面的发射太赫兹波；根据金属膜基材料的类型和厚度，调节太赫兹波的参数；接收所述太赫兹波穿过金属膜基材料有膜区域和无膜区域后的首波参考和第一回波的信号；根据无膜区域的首波参考和第一回波的信号的傅里叶变换结果获得金属膜基材料的基板的精确复折射率；接收所述太赫兹波穿过所述金属膜基材料有膜区域的首波实验信号；根据所述首波参考信号和首波实验信号获得金属膜基材料的膜基和纯基板的实验透射系数比值；基于菲涅尔系数构造穿过测试环境的金属膜基材料有膜区域和无膜区域后的太赫兹波首波的理论光谱密度函数和误差函数；利用所述函数求得金属膜基材料的薄膜的电导率。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 金属 薄膜 直流 电导率 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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