[发明专利]一种双层式柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110011550.3 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112834087B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;郭宣啟;吴伟光;马丽筠;李世峰;雷骁 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭育 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双层式柔性压力传感器及其制备方法，该传感器依次由下柔性基底、下叉指电极层、敏感结构层、上叉指电极层、上柔性基底组成；其中，敏感结构层的上表面设置有带导电层的第一微纳结构，其下表面设置有带导电层的第二微纳结构，第一微纳结构与第二微纳结构在高度上存在显著差异，以此利用高度较小的微纳结构实现高灵敏度测量，利用高度较大的微纳结构实现宽量程测量。本发明中不同高度的微纳结构位于不同表面，避免了微纳嵌套结构加工困难、工艺稳定性和重复性差的问题。本发明的压力传感器具有高灵敏度、宽量程、制备工艺简单和易于产业化等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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