[发明专利]一种双层式柔性压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种双层式柔性压力传感器，其特征在于，包括：

下柔性基底；

上柔性基底，所述上柔性基底与所述下柔性基底相对设置；

下叉指电极层，所述下叉指电极层附着于所述下柔性基底的内侧；

上叉指电极层，所述上叉指电极层附着于所述上柔性基底的内侧；

敏感结构层，所述敏感结构层上表面设置有第一微纳结构，且所述敏感结构层的下表面上设置有第二微纳结构，所述敏感结构层设置于所述下叉指电极层及所述上叉指电极层之间；

其中，所述第一微纳结构的高度与所述第二微纳结构的高度的比值大于5。

2.根据权利要求1所述的双层式柔性压力传感器，其特征在于，所述敏感结构层由柔性衬底、上导电层及下导电层组成，所述上导电层设置于所述柔性衬底的上表面，所述下导电层设置于所述柔性衬底的下表面。

3.根据权利要求2所述的双层式柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性衬底由聚二甲基硅氧烷或硅胶制成。

4.根据权利要求2所述的双层式柔性压力传感器，其特征在于，所述上导电层及所述下导电层由碳黑、石墨烯、碳纳米管、纳米银颗粒或银纳米线制成。

5.根据权利要求1或2所述的双层式柔性压力传感器，其特征在于，所述下柔性基底及所述上柔性基底由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚二甲基硅氧烷或者聚酰亚胺制成。

6.根据权利要求1或2所述的双层式柔性压力传感器，其特征在于，所述下叉指电极层及所述上叉指电极层由导电性金属材料或非金属导电材料制成。

7.权利要求2-6任一项所述双层式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）取下柔性基底，采用印刷工艺在所述下柔性基底的内侧制备一层下叉指电极层；

2）取柔性衬底，采用模板压印工艺或激光直写工艺在所述柔性衬底的上、下表面分别加工出第一微纳结构、第二微纳结构；

3）采用喷涂法或浸泡法在带有微纳结构的所述柔性衬底的上、下表面均匀涂覆上导电层、下导电层，形成敏感结构层；

4）取上柔性基底，采用印刷工艺在所述上柔性基底的内侧制备一层下叉指电极层；

5）从下往上依次将带有所述下叉指电极层的所述下柔性基底、所述敏感结构层、带有所述上叉指电极层的所述上柔性基底叠加并封装，即可获得所述双层式柔性压力传感器。